近日，美國商務(wù)部發(fā)布公告，宣布將36家中國高科技企業(yè)及研發(fā)機(jī)構(gòu)列入美出口管制“實體清單”，繼續(xù)擴(kuò)大對中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的打擊。消息一出，很多人便注意到了國內(nèi)知名存儲芯片公司長江存儲，但同時大家可能忽略了名單中另一家重點企業(yè)--上海微電子。 上海微電子--中國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)之光 很多人可能不知道，上海微電子是目前中國境內(nèi)最先進(jìn)的光刻機(jī)企業(yè)，它生產(chǎn)的600系列光刻機(jī)最高工藝能達(dá)到180nm，在整個國內(nèi)市場上占據(jù)很高的市場份額。 除此之外，上海微電子的6000系列光刻機(jī)技術(shù)也很成熟，它的制程工藝達(dá)到了90nm，對于國產(chǎn)中低端芯片的研發(fā)制造有著巨大助力。因此可以說上海微電子在中國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)中的地位相當(dāng)高，類似于芯片代工企業(yè)中的中芯國際，都是各自領(lǐng)域中的重要存在。 國產(chǎn)光刻機(jī)研發(fā)進(jìn)度受拖累 雖然上海微電子是國內(nèi)最大的光刻機(jī)企業(yè)之一，但還與ASML等國際光刻機(jī)巨頭有很大差距，一些關(guān)鍵零件依舊受制于他國。 據(jù)悉，上海微電子光刻機(jī)的部分主要零部件來自MKS等美國零部件供應(yīng)商，而這些零部件國產(chǎn)化率又很低。再加上零部件是個非?？简灮A(chǔ)研究和長期主義的小而美賽道，其技術(shù)壁壘極高，國內(nèi)短期內(nèi)取代美國供應(yīng)商的可能性幾乎為零。 而如今美國卻正式下令封殺上海微電子，不讓上海微電子買到任何美國的技術(shù)、設(shè)備和原材料，這將給國產(chǎn)光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)展蒙上陰影。要知道早在2020年，就媒體報道，上海微電子披露，將在2021-2022年交付第一臺28nm工藝的國產(chǎn)的沉浸式光刻機(jī)，但到現(xiàn)在2022年已經(jīng)接近尾聲，沒有等來上海微電子交付的第一臺28nm工藝的國產(chǎn)的沉浸式光刻機(jī)消息，卻等來了上海微電子被美國徹底封殺的消息，這不免讓人心酸。 不得不說，美國的這招果然夠毒，封殺中國最大的光刻機(jī)企業(yè)之一，讓國產(chǎn)光刻機(jī)研發(fā)進(jìn)度受拖累，而沒有光刻機(jī)，國產(chǎn)芯片也必然會大受影響，或許最艱難的時刻已經(jīng)到了。值得注意的是，這不是國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)第一次被打壓了！ 國產(chǎn)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)多次被打壓 ASML CEO曾表示，中國舉國之力也造不出EUV光刻機(jī)，即便公開圖紙，也沒人能造出；日本光刻膠供應(yīng)商JSR公司的CEO埃里克?約翰遜，也指出中國根本無法掌握基于極紫外光刻技術(shù)，或者是被稱作EUV光刻技術(shù)的復(fù)雜芯片制造工藝。 以上兩家企業(yè)CEO明里暗里的意思都看不起中國制造光刻機(jī)的能力。但實際上，中國在光刻機(jī)研發(fā)制造上起步并不晚，曾經(jīng)一度和國際頂尖的光刻機(jī)制造水平也相差不大。 早在1966年，一零九廠和上海光學(xué)儀器廠就曾聯(lián)手研制出了國內(nèi)歷史上第一臺65型接觸式光刻機(jī)，研制成功后由上海無線電專用設(shè)備廠投入量產(chǎn)。而到了1985年，由電子部45所成功研發(fā)并制造出了國內(nèi)第一臺分布式光刻機(jī)：BG-101！值得一提的是，此時中國光刻機(jī)的制造水平與國際頂尖水平的差距不到7年。 可惜到了1996年就變了，當(dāng)時30多個國家共同簽署了”瓦森納協(xié)定“！而根據(jù)協(xié)定，要求對中國出口的半導(dǎo)體技術(shù)及光刻機(jī)設(shè)備，要比同期國際最先進(jìn)技術(shù)落后兩代。此外，彼時中國沒有多余資金用在光刻機(jī)的自主研發(fā)上，這就導(dǎo)致與國外的差距再次被無限拉開，再加上近年來美國對上海微電子等國產(chǎn)光刻機(jī)企業(yè)的無理打壓，國產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)似乎已經(jīng)到了無法追趕國際頂尖水平的地步了。 信息來源：智能制造 |
